标题: 南方科技大学多功能测量平台 [打印本页]

作者: duojun990    时间: 2017-3-25 15:39
标题: 南方科技大学多功能测量平台
多功能测量平台
设备归属 : 理化平台
设备管理员联系方式 :
Email: yangtb@sustc.edu.cn; Phone: 0755-88015451


设备品牌:
Cascade Summit 11000; Keithley 4200


主要技术参数:
载物台
                                X-Y方向                   Z方向            Theta 自旋方向
移动范围:   203mm x 203mm        5mm                       ±5.5o
分辨率:                    ±1μm                       1μm                         0.65 μm
重复精度:        ≤ 2μm                      ≤1μm                       ±2μm
精度:             ≤ 2.5μm                  ≤2μm                       ±2μm
移动速度:                 > 50 mm/s
最大承载探针压力:  20kg(44lb)


4200数字源表
SMU量程                 电压:         1μV/200V      电流:0.1 fA/1A
SMU测量分辨率    电压:      1μV        电流:0.1 fA
SMU测量精度          电压: 100 μV               电流:10 fA
双通道脉冲发生器的最小脉宽:10  ns
双通道数字示波器采样速率:1.25G次采样/秒/通道






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