上海交通大学分析测试中心离子溅射仪&蒸碳仪

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仪器名称        离子溅射仪&蒸碳仪        
英文名称        Ion Sputter & Carbon Coating Unit
规格/型号        */*E-1045
生产厂商       
国别        日本
所属单位        分析测试中心>>107        放置地点        107(107)
负责人        鲍中秋 邮箱：baozq@sjtu.edu.cn
何琳 联系电话：1 邮箱：lhe@sjtu.edu.cn
张莹 邮箱：ying_zh1990@sjtu.edu.cn
刘丹丹 邮箱：eggs@sjtu.edu.cn
洪立芝 邮箱：honglizhi@sjtu.edu.cn
丁莹 邮箱：yding16@sjtu.edu.cn
收费标准        基础费率：
测试项目：
离子溅射金Au膜【校内:100元 校外:200元】／单位
离子溅射铂Pt膜【校内:100元 校外:400元】／单位
蒸镀碳膜【校内:100元 校外:200元】／碳棒
性能指标        离子溅射：金Au膜、铂Pt膜 蒸镀：碳膜 溅射速度：Au：10nm/min Pt：6nm/min 蒸镀碳膜厚度：约20nm
主要应用        以改善试样的导电性能，主要用于导电性不佳的试样的扫描电镜观察。
样品要求        离子溅射：无磁性 蒸镀：样品能承受200℃以上的高温
仪器说明        在试样表面离子溅射一层纳米级厚度的金Au膜、铂Pt膜或者蒸镀一层20nm左右的碳膜，以改善试样的导电性能，主要用于导电性不佳的试样的扫描电镜观察。