中北大学扫描电镜微纳操纵定位测量系统

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扫描电镜微纳操纵定位测量系统
联系人 李波
生产厂家 瑞士FemtoTools
邮箱 yqsbc1@nuc.edu.cn
型号 Phenom pure FT-RS100020199
电话 13007003457
购买日期  2015/05/18
主要规格和技术参数
维纳操纵系统FT-RS1000 微钳子开口范围：0-100μm，微力测量范围±100mN,分辩率5uN； 扫描电镜Phenom pure 放大倍数20X～28,000X,电镜分辨率30nm，成像时间30s，电镜准备时间13小时
主要功能及特色
该系统分为扫描电镜和微纳操纵定位测量系统两个组成部分，该设备可利用微纳探针或微纳钳夹对于样品进行力学性质测试或者进行微纳尺度的操纵，并在扫描电镜环境下观测操纵结果和形貌参数。