TESCAN VEGA3扫描电子显微镜（SEM）

VEGA3扫描电子显微镜

VEGA 系列是 TESCAN 公司推出的第一款扫描电子显微镜系列,经过 16 年的不断研发改进,如今已是成熟的第三代产品。历经多年市场考验,VEGA 已被证实具备非常优异的可靠性及性能优势,并帮助 TESCAN 在带电粒子光学领域奠定了世界领先的地位。

VEGA3 是一款功能强大的电子显微镜系统,可支持高 & 低真空环境操作,并为用户提供最新的优势技术。如提高图像采集速度的高性能电子设备、静态和动态图像畸变补偿的超快扫描系统、用户自定义的应用程序脚本等。此外,由于使用了强力的涡沦分子泵和机械泵,因而可以快速简单地得到干净的真空样品室。VEGA3 有四种样品室可供选择:SB、LM、XM 和 GM,样品室配备多种接口,为 EDS、WDS 和 EBSD 分析附件的安装设计了最佳的几何结构。VEGA 系列产品一直保持着非常高的性价比,可满足当今科研及工业的扫描电镜应用需求,如果您正在寻找一款性能可靠、功能齐全的入门级扫描电镜,VEGA 系列是您的绝佳选择。
 

突出特点

• 独有的四透镜大视野(Wide Field Optics™) 设计、专有的中间镜(IML)电子束优化功能,并可提供多种工作模式和显示模式;

• 独有的中间镜设计(IML),采用电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同连续可调的光阑;

• 结合了电子光学设计的实时电子束追踪技术(In-Flight Beam Tracing™) 可模拟和进行束斑优化;

• 无需任何机械对中的镜筒设计,使光路合轴和校准完全自动化;

• 可实现高通量、大面积自动化检测,如自动颗粒分布和分析;

• 配有经过计算机优化、马达驱动的全自动优中心样品台 (compucentric stage)

• 有利于 EDS、WDS、EBSD 分析的理想几何设计,无畸变的      EBSD 工作模式;

• 强力涡沦分子泵和机械泵,可快速简单地得到干净的真空样品室;

• 全自动化显微镜设置,包括电子光学设置和对齐;

• 用于 SEM 操控、图像采集、归档、处理及分析的专业软件;支持多语言多用户环境;

• 网络操作和内置的远程控制/诊断功能;

• 采用 3D 电子束技术(3D Beam      Technology )可获得实时立体成像。