TESCAN AMBER 双束电镜（FIB-SEM）

TESCAN AMBER 是一款双束(FIB-SEM)聚焦扫描电镜系统系统,可以满足现今工业研发和学术界研究的所有需求,在提供无与伦比的图像质量的同时,可完成复杂的纳米操作并保证极佳的精度和操作灵活性。

TESCAN AMBER 配置了最新的 BrightBeam™ 镜筒,真正的无磁场超高分辨(UHR)可以最大化的实现各种分析,包括磁性样品的分析,以及在 FIB 操作时 SEM 的实时监测。另一方面,创新的 Orage™  FIB 镜筒配有最先进的离子光学系统和气体注入系统,使得 TESCAN AMBER 成为了世界顶级的样品制备和纳米加工的仪器。

模块化、基于工作流的软件确保了在所有应用中都能最大程度进行操控,不需要在复杂的技术之间进行取舍,用户界面友好。因而 TESCAN AMBER 是高端FIB-SEM应用的理想选择,也是所有追求日常科学和技术突破的人士的首选分析平台。

TESCAN AMBER 双束电镜（FIB-SEM） 主要特点

• 创新的 BrightBeam™SEM 镜筒技术,实现真正的超高分辨(UHR)
• 最新的 BrightBeam™SEM 镜筒,电磁-静电复合物镜,配置专利的 70°极靴 ;
• 无磁场超高分辨成像,可以最大化的实现各种分析,包括对磁性样品的分析;
• 最新的多种探测器,包括透镜内轴向探测器(In-Beam Axial detector )以及多控制器,可选择不同角度和不同能量来收集信号,更好的表面灵敏度和对比度,可以看得更细致,观察更深入;
• 新型场发射肖特基电子枪的最大束流可达到 400 nA,同时可实现电子束能量的快速改变;
• 新一代电路系统可同时支持多达 8 个实时信号通道
• EquiPower™ 透镜技术可实现高效的散热并保证电子镜筒的稳定性;
• 电子束减速技术(BDT)进一步加强了低电压下的分辨率,并能同时探测 SE 和 BSE 信号(选配);
• 创新的 Orage™ Ga FIB 镜筒可完成极具挑战性的纳米工程任务
• 创新的 Orage™ Ga FIB 镜筒保证绝佳的离子分辨率,30 kV 分辨率优于 2.5 nm ,最低电压可达 500 V;
• 优秀的低压样品制备能力可以快速制备无损超薄 TEM 样品;
• FIB 束流最大可达100 nA,SmartMill 级别的高速切割进行截面处理和薄片取出使得加工效率提升了一倍;
• 快速的 FIB 纳米重构技术,轻松了解样品的超微观信息;
• 采用新型 OptiGIS 气体注入系统,可快速启动,沉积/蚀刻稳定性极好,一台仪器最多安装6个 OptiGIS;
• 无漏磁 SEM 成像和高速 FIB 相结合,可以快速不间断地完成铣削/连续成像,适用于 TEM / 原子探针样品制备或 FIB-SEM 断层扫描。

聚焦离子束的三种工作模式 a.成像;b.加工;c.沉积

成像

聚焦离子束在与材料表层的原子发生交互作用时,能够激发出二次电子和二次离子,这些电子或离子被相应的探测器收集后即可对材料的表面进行成像。与电子束成像相比,在使用离子束对多晶材料进行扫描时,离子束沿着不同晶向的穿透能力可表现出较大差异。利用这一原理,离子束成像可用于分析多晶材料的晶粒取向、晶界分布和晶粒尺寸分布等。

加工

聚焦离子束的加工功能是通过高能的离子束与样品表面原子撞击使表层原子溅射来实现,这是FIB 最重要应用之处。目前的聚焦离子束系统不仅可以加工简单的规则图形还可以通过位图,流文件等方式加工复杂的图形。

沉积

当在离子束照射区通入特定的气体时,在聚焦离子束的诱导下,这些气体可在固体材料表面沉积。通过调整离子束束斑尺寸,束流大小,扫描路径和时间等参数,即可在材料表面沉积出期望的图案或功能元器件。

关于 TESCAN

作为科学仪器的全球供应商之一,TESCAN 正为其在设计、研发和制造扫描电子显微镜及系统解决方案在不同领域的应用方面树立良好的声誉和品牌。

TESCAN 专注于研究、开发和制造科学仪器及实验室设备,例如:

扫描电子显微镜

电镜附件

光学显微镜配件和图像处理技术

独特的真空样品室和定制系统

探测器系统

分析硬件和软件开发

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