TESCAN LYRA3双束电镜（FIB-SEM）

LYRA3 是一款集高分辨率 FE-SEM 镜筒和多功能的高性能 Ga 离子源 FIB 于一体的双束扫描电镜,是切割横断面、定位制备高质量TEM样品以及高分辨三维样品重构的绝佳选择。同时,大电子束流下的优异分辨率有利于 EDX、WDX、EBSD 等分析应用。LYRA3 满足了当今材料科学和工业的样品表征及微观分析需求。此外,LYRA3 非常适合电子束/离子束光刻、多层微电子器件的电路编辑。高通量、功能强大、易于使用的软件使得用户可以毫不费力地实现复杂的 FIB-SEM 应用操作,如三维重构、连续横断面切割、TEM样品制备以及相关的显微分析等。

TESCAN LYRA3双束电镜（FIB-SEM）突出特点

高性能电子光学系统

独特的 Wide Field Optics™ 设计,利用中间镜 ( IML) 技术使扫描电镜具有多种操作和显示模式,如大视野模式、景深增强模式等;

实时电子束追踪技术 (In-Flight Beam Tracing™),可实现性能及电子束的优化,同时直接连续调节控制电子束参数;

全自动电子光学系统的设置与对中;

快速图像采集速率;

应用先进的 3D 电子束技术可实现独特的实时立体成像观察,开启惊奇的 3D 体验及 3D 导航微纳世界之旅;

高性能离子光学系统

精密高性能 CANION 型 FIB 镜筒,实现快速精准切割样品横断面和制备 TEM 试样;

可选配超高分辨率 COBRA 型 FIB 镜筒,它体现了现代成像分辨率和离子束试样加工精度的最高水平,是现今纳米工程领域精度最高的 FIB 系统之一。

关于 TESCAN

作为科学仪器的全球供应商之一,TESCAN 正为其在设计、研发和制造扫描电子显微镜及系统解决方案在不同领域的应用方面树立良好的声誉和品牌。

TESCAN 专注于研究、开发和制造科学仪器及实验室设备,例如:

扫描电子显微镜

电镜附件

光学显微镜配件和图像处理技术

独特的真空样品室和定制系统

探测器系统

分析硬件和软件开发

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