Thermo Scientific™ Metrios TEM透射电子显微镜

Metrios TEM透射电子显微镜是第一款半导体行业专用 TEM。Metrios 系统是第一款半导体行业专用 TEM,它能根据半导体制造商的需要快速、精确地开展测量,帮助他们开发和控制晶圆片制造工艺。基本 TEM 操作和测量步骤实现了高度自动化,最大限度降低了为操作员提供专门培训的需要。而且,先进的自动化测量例程相比手动方法具有更大的精度。Metrios TEM 旨在为客户提供比其他 TEM 更高的通量和更低的单位样本成本。

先进的逻辑和内存制造工艺越来越依赖于精确的结构和分析数据的快速转换,能够快速校准工具集、诊断产品成品率偏差和优化制程成品率。 在 28 nm 以下的技术节点,特别是在实现非平面器件设计时,传统的 SEM 或基于光学的分析和检验工具无法提供有用的数据。FEI 的 Metrios 可自动完成基本 TEM 操作和测量步骤,最大限度降低了为操作员提供专门培训的需要。而且,相比手动方法,先进的自动化测量例程显著提高了精度。Metrios 旨在以极低的单位样本成本,提供大量既准确又可重复的 TEM 数据。

先进的逻辑和内存制造工艺越来越依赖于精确的结构和分析数据的快速转换,能够快速校准工具集、诊断产品成品率偏差和优化制程成品率。在 28 nm 以下的技术节点,特别是在实现非平面器件设计时,传统的 SEM 或基于光学的分析和检验工具无法提供有用的数据。FEI 的 Metrios™ 是第一款专用于向需要开发和控制其晶片制造过程的半导体制造商提供快速精确测量能力的 TEM。

大量 TEM 数据,操作精确且可重复 - 单位样品成本极低

FEI 的 Metrios 可使基本的 TEM 操作和测量过程自动化,对专门的操作员培训要求也降至最低。而且,相比手动方法,先进的自动化测量例程显著提高了精度。Metrios TEM 旨在为客户提供比其他 TEM 更高的通量和更低的单位样品成本。