刘前课题组在微纳制造方法研究中取得新进展

正文摘要:

微纳加工是纳米研究的两大基础，一直受到广泛重视。然而，随着各种新型器件和结构的出现，常规的微纳加工方法已经无法完全满足需要，刺激了人们探索更高性价比、更强加工能力的非常规加工方法。国家纳米中心刘前团队 ...