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于贵课题组:绝缘基底上可控制备单层石墨烯薄膜研究取得进展

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发布时间: 2019-8-27 16:35

正文摘要:

化学气相沉积(CVD)是生长大面积高质量石墨烯的有效方法之一。在石墨烯的CVD生长过程中,需要使用金属催化剂,石墨烯需要转移才能构筑电学器件,与当前的半导体加工工艺不兼容,同时转移会造成石墨烯的褶皱、破损和 ...

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