董蜀湘课题组利用“超材料”思想设计纳米步进压电马达并取得重要进展

正文摘要:

超精密定位技术广泛应用于半导体芯片加工、微型机械制造与超精密加工、光学显微镜技术、空间星际光通讯、以及生物医学中的纳米操作等领域里。压电步进马达是一种利用压电效应，将电场能转化为机械能的纳米级驱动器件 ...