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电子器件加工设备关键部件用316L不锈钢,其化学成分、应用等级、夹杂物等的要求极高,长期以来完全依赖进口。为了促进我国电子器件加工设备用超纯材料制备的自主化,中国科学院金属研究所特种合金研究部马颖澈研究员 ...
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