陈旭远

男,出生于1962年7月14日,陕西礼泉人。1997年4月毕业于荷兰王国艾因霍芬理工大学(Eindhoven University of Technology)获博士学位,山西省首批百人计划入选者。回国前受聘于,微纳米系统技术研究中心,Vestfold大学学院(Institute for Micro- and Nano-system Technology, Vestfold University College)。主要从事微纳米系统技术领域的研究和开发工作。过去6年来,先后主持各种科研项目总计大约600万欧元。曾获得2011年Vestfold年度杰出研究者(Research of 2011), 国家教委科技进步三等奖,电子工业部科技进步二等奖,厦门市科技进步三等奖,西安交大科技进步一等奖,等7奖项。持有中国专利10项,欧洲专利1项,美国专利1项,受理中国和国际专利8项。在国际学术期刊及国际会议发表学术论文一百六十余篇。

目前陈旭远教授已经确定将作为西安交大苏州纳米科学与工程技术学院特聘教授,并将在苏州开展以下方向的课题研究。

简历

2010年2月-至今, 中北大学特聘教授,博士生导师。

山西省首批百人计划入选者

2004年12月-至今, 教授, 博士生导师。

2004年12月-2008年8月 厦门大学特聘教授, 博士生导师。

萨本栋微机电研究中心, 常务副主任。

2002年10月-2004年12月, 高级研究员

2002年1月-2002年10月, 访问教授,

美国国家科学研究中心,微电子机械研究所科拉罗多大学

2001年5月-2003年11月, 正教授

1997年11月-2001年5月, 副教授

微电子与通讯工程,特罗姆斯大学,物理系。

1997年4月-1997年11月, 博士后

微电子技术实验室,加拿大西蒙费锐丝大学,工程学院

1993年3月-1997年3月, 研究助理

半导体材料与器件,荷兰艾茵霍温理工大学

1988年10月-1993年3月, 讲师

兼职西安交大与浙江横店工业集团公司大型合作项目的负责人之一。

电子材料与器件,西安交大电子工程系,中国西安

1983年6月-1988年10月, 助教

计算数学与有限元分析,西安交大数学系,中国西安

研究方向

基于微纳制造技术的大功率、低成本和小体积太赫兹源的研究与制造

太赫兹的应用可概述为:医疗THz图像无伤害诊断,材料结构的THz研究以及THz图像无损检测分析,远程安防THz成像,生化恐怖监控以及环境监测THz吸收谱分析,超高速数据流传输(ultra-high-data-rate)的无线通讯,等先进性应用。但具有一定功率要求的小型化太赫兹源将是全球科学家目前和未来数十年内所面临的最大挑战。本课题利用光子晶体的互感响应微纳米结构,研究不同工作原理的太赫兹功率放大源的基础理论,探讨实现结构,开发制造与集成技术等,制造具有微机电系统结构特征的大功率THz源。 这是本科题实现高功率、低成本、小体积集成的太赫兹源的立项基本思路。结合使用大电流冷阴极电子枪,实现脉冲式光子晶体电磁互感THz源和连续波输出的光子晶体返波谐振THz源。

低电压驱动、大功率和高频调制硅基MEMS红外光源的研究与制造

红外光产生的传统方法有三种:碳硅体的热辐射、激光器、红外发光二极管(LEDs)。然而,这些方法都有不同程度的缺点。 激光器红外,线宽很窄的红外; LED红外,只可得到微瓦级波长小于5m的红外光;碳硅体的热辐射源红外,是灰体辐射。因此,研制低能耗、高辐射率、低成本红外光源成为当前各国在红外领域研究的重点。本项目研究开发低电压驱动、大功率和高频调制硅基MEMS红外光源,该器件最高温度可以达到850C,在600C时寿命不低于5年。具体实现: ①光源具有体积小、能耗低和寿命长的特点;②光源可在连续工作模式和脉冲模式下工作,脉冲模式下可高调制;③光源可实现低成本大批量的制造。使用特殊的晶片以简化红外光源的光学衬底的生长工艺, 可与现有的CMOS工艺相兼容,生产成本低,提高产业化的可能;④通过技术扩展可实现窄带发射和波长可调谐。

硅基三维MEMS超级电容器 的研究与制造

超级电容器(超电容)是介于传统电容器和蓄电池之间的一种新型储能装置,具有功率密度大、充放电时间短、循环寿命长、低温性能好等优点。

每种类型的超电容的容量密度都与电极材料的有效面积正相关,因此关于引入纳米技术来提高超电容的性能的研究非常广泛,尤其通过制备纳米电极材料来提高超电容的性能。其中碳纳米管作为双电层电容的电极材料研究最多,金属纳米颗粒也可以作为超电容的电极,电化学超电容的典型电极材料导电聚合物也被制作成纳米结构,金属氧化物作为另一个电化学超电容的材料也通过纳米改性而改善了性能,此外研究者们还制备了碳纳米管/导电聚合物复合膜电极,试图发挥双电层电容和电化学电容的双重作用。课题研制新型的三维MEMS超电容,开发MEMS加工方法,制造比表面积非常大的三维结构,研究纳米结构的金属层制造技术,制备富纳米组织结构的超电容集流体。