[材料测试] 山东大学公共技术实验室光学轮廓仪

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发表于 2017-5-10 08:57:20 | 只看该作者回帖奖励

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光学轮廓仪
联系人任小平
邮箱 renxiaoping@sdu.edu.cn
电话 88392329
生产厂家 Veeco公司
型号 Veeco NT9300
购买日期 2008.12.01
主要规格及技术指标
纵向扫描范围：0.1nm~10mm (标配）最大扫描速度：24um/s 样品台尺寸：200mm XY自动样品台（标配）
主要功能及特色
高速表面形貌测量可针对大尺寸样品、缝合的及不规则的样品实现大范围扫描（垂直方向最高可达10mm）。非接触测量；重复性高；测量精度高

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