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[材料测试] 东华大学分析测试中心场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)

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发表于 2017-4-25 08:57:04 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
仪器型号:S-4800
生产厂家:日本HITACHI
主要配置:二次电子探测器(高位/低位),5轴马达驱动样品台,具有电子束减速功能的电子光学系统,Quantax 400型 X射线能量色散谱仪(德国Bruker)。
主要技术指标:分辨率:1.0nm (15kV),2.0nm (1kV),1.4 nm (1kV, 减速模式);加速电压:0.5~30 kV;样品最大尺寸:直径100mm;能谱能量分辨率:129 eV。
主要用途:块状固体、纤维、薄膜等材料的表面或断面微观形貌观察;微纳米尺度微粒、孔洞等形状的观察及尺寸分析;微区元素及其分布测试。
仪器责任教师:杨健茂(B117室)
地址:上海市松江区人民北路2999号 东华大学五号学院楼B区 东华大学分析测试中心
电话:(021)67792821;(021)67792818
传真:(021)67792818
邮箱:fxcs@dhu.edu.cn
邮编:201620


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