北航材料学院离子减薄仪

chandler

仪器名称：离子减薄仪
仪器统一编号：20061473
仪器型号 ：BAL-TECRES101
启用时间：2005年12月
仪器原值：65.731672万元
仪器安置地点：4号楼110室
仪 器 厂 家：BAL-TEC
仪器负责人：段辉平
收费标准：共享（待定）
联系电话：82316192
邮    编：100083
通讯地址：北京航空航天大学材料学院


主要技术指标：
1.       减薄角度：4°到–45°  每个枪可独立调节。
2.       离子枪束能量： 0.5- 10千伏。
3.       离子束电流密度3mA-10mA/cm2。
4.       束调整：荧光屏
5.       减薄速度：硅, 每小时40微米, 5千伏。