南方科技大学多功能测量平台

duojun990

多功能测量平台
设备归属 : 理化平台
设备管理员联系方式 :
Email: yangtb@sustc.edu.cn; Phone: 0755-88015451


设备品牌:
Cascade Summit 11000; Keithley 4200


主要技术参数：
载物台
                                X-Y方向                   Z方向            Theta 自旋方向
移动范围：   203mm x 203mm        5mm                       ±5.5o
分辨率：                    ±1μm                       1μm                         0.65 μm
重复精度：        ≤ 2μm                      ≤1μm                       ±2μm
精度：             ≤ 2.5μm                  ≤2μm                       ±2μm
移动速度：                 > 50 mm/s
最大承载探针压力：  20kg(44lb)


4200数字源表
SMU量程                 电压：         1μV/200V      电流：0.1 fA/1A
SMU测量分辨率    电压：      1μV        电流：0.1 fA
SMU测量精度          电压： 100 μV               电流：10 fA
双通道脉冲发生器的最小脉宽：10  ns
双通道数字示波器采样速率：1.25G次采样/秒/通道