实现碳化硅完全自主供应 中电科实现4英寸晶片量产

据中央纪委国家监委网站指出,目前中国电科(山西)碳化硅材料产业基地已经实现4英寸晶片的大批量产,6英寸高纯半绝缘碳化硅单晶衬底也已经开始工程化验证,为客户提供小批量的产品试用,预计年底达到产业化应用与国际水平相当。

今年3月,中国电科(山西)碳化硅材料产业基地在山西转型综合改革示范区正式投产,第一批设备正式启动。基地一期项目可容纳600台碳化硅单晶生长炉,项目建成后将具备年产10万片4-6英寸N型碳化硅单晶晶片、5万片4-6英寸高纯半绝缘型碳化硅单晶晶片的生产能力,是目前国内最大的碳化硅材料产业基地。这一基地的启动,将彻底打破国外对我国碳化硅封锁的局面,实现碳化硅的完全自主供应。

目前国际上碳化硅晶片的合格率最高是70%-80%,而原来国内实验室生产的碳化硅晶片的合格率仅有30%。但在碳化硅产业基地,这个合格率可以达到65%。

中电科总经理李斌介绍,现在我们在实现迅速研发的同时也进一步开展量产,三年内整个项目要达到18万片每年的产能。另外,我们目前在进行8英寸晶片的研究,希望三年之后,我们能有8英寸的样片出来。因为晶片是整个碳化硅产业链的上游,要走到器件研究的前面。