JEM-3200FS场发射电子显微镜配备了最高加速电压为300kV的场发射电子枪(FEG)和镜筒内置式Ω型能量过滤器,能为广泛的研究领域提供各种全新的解决方案。 
镜筒内置式Ω型能量过滤器(omega 过滤器) 镜筒内置式Ω型能量过滤器内置于成像透镜系统,能容易地获得能量过滤像和能量损失谱,同时还能获得与传统电子显微镜同等的放大倍率范围。此外、Ω型过滤器的电子光学系统在设计上最大程度地减少了图像畸变,出厂前还将剩余一点的畸变做了最后的修正。JEM-3200FS还采用了高灵敏度的相机系统及图像处理系统(选配件),可以构建元素面分布系统及能量损失谱系统。 新型控制系统 电子枪、电子光学系统、测角台、抽真空系统等电子显微镜基本功能的系统化,实现了高稳定、高性能的控制系统。图像画面和用户界面采用Windows ®*1,可以进行编程操作和附件的集中控制。 新型测角台 系统化的新型测角台内置压电陶瓷驱动机构,使高倍率下的样品移动更加精确。*2. *1 : 注意事项:Windows是微软公司在美国和其他国家的注册商标。 *2 : 仅有压电元件包括在基本单元中,压电元件的电源为选配件。
JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜技术参数 物镜极靴*1 | 超高分辨UHR | 高分辨率HR | 高倾斜HT | 高衬度HC | 分辨率 | 点分辨率
晶格分辨率 | 0.17nm
0.1nm | 0.19nm
0.1nm | 0.21nm
0.1nm | 0.26nm
0.14nm | 能量分辨率 | 0.9 eV(零损失FWHM) | 加速电压 | 300kV,200kV,100kV*2 | 最小步长
能量位移 | 100V
最大3,000V (以0.2V为步长) | 电子枪 | 发射体 | ZrO/W(100) 肖特基式 | 亮度 | ≧7×108 A/cm2 ・ sr | 真空度 | 3×10-8Pa | 探针电流 | 探针直径为1nm时,电流在0.5nA以上 | 稳定度 | 加速电压 | 2×10-6/min | 物镜电流 | 1×10-6/min | 过滤器透镜电流 | 1×10-6/min | 物镜 | 焦距 | 2.7 mm | 3.0 mm | 3.5 mm | 3.9 mm | 球差系数 | 0.6 mm | 1.1 mm | 1.4 mm | 3.2 mm | 色差系数 | 1.5 mm | 1.8 mm | 2.2 mm | 3.0 mm | 最小焦距步长 | 1.0 nm | 1.4 nm | 1.5 nm | 4.1 nm | 束斑尺寸 | TEM 模式 | 2 ～ 5 nmφ | 2 ～ 5 nmφ | 7 ～ 30 nmφ | EDS 模式 | 0.4 ～ 1.6 nmφ | 0.5 ～ 2.4 nmφ | 4 ～ 20 nmφ | NBD 模式 | 0.4 ～ 1.6 nmφ | 0.5 ～ 2.4 nmφ | - | CBD 模式 | 0.4 ～ 1.6 nmφ | 0.5 ～ 2.4 nmφ | - | 电子束衍射 | 衍射角(2α) | 1.5 t～ 20 mrad | - | 取出角 | ±10 ° | - | 倍率 | MAG 模式 | ×2,500 ～ 1,500,000 | ×2,000 ～ 1,200,000 | ×1,500 ～ 1,200,000 | LOW MAG 模式 | ×100 ～ 3,000 | SA MAG 模式 | ×8,000 ～ 600,000 | ×6,000 ～ 500,000 | ×5,000 ～ 500,000 | 视野 | 10eV时狭缝宽度60mm(底片上)
2eV时狭缝宽度25mm(底片上) | 相机长度 | 选区电子衍射 | 200 ～ 2,000 mm | 250 ～ 2,500 mm | 400 ～ 3,000 mm | EELS 散射 | 能量选择
在能量选择狭缝上 | 0.85 μm/eV , 300 kV | 底片上 | 100 ～ 220 μm/eV , 300kV | 样品室 | 样品移动范围 (XY/Z) | 2mm/0.2mm | 2mm/0.4mm | 2mm/0.4mm | 2mm/0.4mm | 样品倾斜角 (X/Y) | ±25°/±25°*3 | ±35°/±30°*3 | ±42°/±30°*3 | ±38°/±30°*3 | EDS*4 | 固体角 | 0.13 sr | 0.09 sr | 取出角 | 25° | 20° |
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