布鲁克Dimension EdgeTM PSS原子力显微镜

布鲁克的Dimension EdgeTM PSS原子力显微镜结合AutoMETTM测量软件是LED衬底和外延工艺生产商理想的纳米测量和监测系统。结合了著名的Dimension系列原子力显微镜的 高分辨与物超所值,作为Dimension Edge的扩展,Edge PSS提供了适合产线要求的衬底测量方案。

Dimension Edge PSS Automet wafer Image

3D AFM image of flat-top patterned sapphire substrate.

布鲁克还针对蓝宝石图形化衬底生产商设计了AutoMET控制和分析软件包。该软件包和Edge PSS一起为用户提供了前所未有的自动化程度和易用性。

布鲁克Dimension EdgeTM PSS原子力显微镜技术细节

先进的 PSS 检测技术

利用AFM的超高分辨率提供衬底和外延层表面粗糙度的精确测量,配备齐全的AutoMET测试分析软件,自动测试每一个样品细节,并且高效迅速地完成数据分析获得完整的PSS信息:

高度

侧壁角度

表面轮廓

直径(底部尺寸)

间距

Dimension Edge PSS AFM配备自动检测成像软件,提供无与伦比的高精度测量数据,满足技术要求,噪声水平<0.2nm,提供衬底和外延层表面粗糙度的精确测量;样品台可容纳2-到6-英寸的wafer,可以灵活选择样品尺寸进行测量;AutoMET自动测量分析软件可以同时测量9片2-英寸的wafer。